集成電工藝過程中產生的酸性氣體，經過酸排氣配管至入口的靜壓箱，經過洗滌塔至排放口的靜壓箱，除去了酸性物質后，經處理過的氣體經過排氣風機排放到***氣中。

　　洗滌塔有循環泵、循環水流量計、pH計、液位計等系統，用氫氧化鈉作為中和的化學品，通過測定循環水的pH值來控制氫氧化鈉的注入泵開關。經過排氣處理的處理水集中排放至工廠的廢水處理系統處理，達到工業排放標準后排放。通過循環泵將NaOH溶液加壓并不斷從噴嘴中以霧狀噴出，噴出的NaOH溶液和廢氣中的酸性物質起中和反應，從而達到凈化處理目的。

　　必要時，可以添加次氯酸鈉進行循環水殺菌處理。處理裝置中的填料可以分散氣流和水流，增加接觸面積使酸性物質與NaOH充分接觸，提高去除效率，此種處理裝置處理效率高，阻力小且比較穩定，處理效率可達95%。

　　工藝過程中產生的堿性廢氣處理流程和酸性廢氣的流程類似，不過它是以硫酸作為中和用的化學品。集成電生產中往往會產生***量的硫酸廢液，一般堿性廢氣用的硫酸以生產中排放的廢硫酸作為原料，這樣可以降低堿性廢氣處理成本。

　　有機廢氣主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術。吸收法是利用有機氣體水溶性的***性，且添加次氯酸鈉或過氧化氫等氧化劑，將有機廢氣中的有機氣體去除。此方法因添加氧化劑不但處理成本增加，且易形成二次污染，故吸收法未得到普遍應用。

　　生物處理法是利用微生物的代謝作用，將污染物分解成無害物質。生物處理法運行費用低，二次污染小，但處理條件嚴、持續時間長，占地面積***，故實際應用較少。

　　焚燒法是利用高溫焚燒過程將有機廢氣轉換成CO2與H2O，根據廢氣的焚燒溫度可分為750℃～850℃的焚燒化與350℃～450℃的催化燃燒二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少采用這種方法。

　　吸附法是利用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機氣體分離，而凈化有機廢氣。適用于集成電產業的有機廢氣處理方法有吸附法和焚燒法。